扫描电镜桌面型-清洁度分析—荷兰飞纳

Phenom ParticleX 全自动清洁度分析系统--集成了扫描电镜和能谱仪，相比传统的重量法和光镜法能更有效率地监控过程清洁度。传统的方法只能提供清洁部件上大颗粒灰尘和碎片的总体重量或形状信息，而不能全面分辨颗粒的污染源。Phenom ParticleX 取代传统颗粒物清洁度检测方法，允许工程师看见微米尺寸的颗粒并确定其化学成分，从而判断出污染源。